Belt with cascade and manufacture of belt with cascade

翼列付きベルト、および、翼列付きベルトの製造方法

Abstract

(57)【要約】 【課題】 翼列付きベルトに精度の高い貫通孔を簡単に 形成する。 【解決手段】 ベルト本体12と複数の翼14とベルト 本体12を貫通する孔16とを有する翼列付きベルト1 0の製造方法であり、以下の工程を含む。ベルト本体1 2と複数の翼14とを有する翼列付きベルト10を準備 する工程。複数個の小平面32で構成される多角周面を 有し、ベルト本体12の内周長よりも長い外周長を有す る多角面治具30を準備する工程。ベルト本体12のう ち貫通孔16が配置される翼14同士の中間部分が、多 角面治具30の外周の小平面32に配置されるように、 ベルト本体12を多角面治具30の外周に嵌合する工 程。多角面治具30に嵌合されたベルト本体12の翼1 4同士の中間部分に、ベルト本体12の外周から抜き刃 42を押し当ててベルト本体12に貫通孔16をあける 工程。
PROBLEM TO BE SOLVED: To easily form a through hole of high accuracy in a belt with cascade. SOLUTION: In a method of manufacture, a belt 10 with cascade, having a belt main unit 12, plurality of blades 14 and a hole 16 inserted in the belt main unit 12, is manufactured. The method is constituted by a process preparing the belt 10 with cascade having the belt main unit 12 and a plurality of the blades 14, process preparing a polygonal surface jig 30 having a polygonal peripheral surface constituted by a plurality of small planes 32 and a peripheral length longer than an internal peripheral length of the belt main unit 12, process fitting the belt main unit 12 to a periphery of the polygonal surface jig 30 so that an intermediate part of the fellow blades 14 arranging the through hole 16 of the belt main unit 12 is arranged in the small plane 32 in the periphery of the polygonal surface jig 30, and a process drilling the through hole 16 in the belt main unit 12 by pressing an extraction edge 42 from the periphery thereof in the intermediate part of the fellow blades 14 of the belt main unit 12 fitted to the polygonal surface jig 30.

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    JP-2009124131-AJune 04, 2009Semes Co Ltd, セメス株式会社駆動磁力部材と、これを利用した基板移送ユニット及び基板処理装置